レーザー干渉計を用いたＸＹテーブルの精度測定方法の紹介（No.... 概要 近年，フラットパネルディスプレイや薄膜太陽電池などの自動加工機に求められる加工精度はますます高精度化しているため，その加工精度に直接結びつく...
